2025年8月27日，以“共商、共議、共建”為宗旨，以“相遇、相識、相知”為主題的 “半導(dǎo)體級臭氧發(fā)生器標(biāo)準(zhǔn)”啟動暨評審大會在青島隆重召開并取得了圓滿成果。

本次大會聚焦半導(dǎo)體級臭氧發(fā)生器技術(shù)在行業(yè)中的應(yīng)用與需求深入討論，針對臭氧發(fā)生器技術(shù)現(xiàn)狀與未來發(fā)展進(jìn)行回顧與展望，旨在啟動“半導(dǎo)體級臭氧發(fā)生器標(biāo)準(zhǔn)”的制定以及評審工作，旨在推動行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新、明確技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)范市場秩序、提升產(chǎn)品質(zhì)量與國際競爭力。

本次“半導(dǎo)體級臭氧發(fā)生器標(biāo)準(zhǔn)”工作由“中國國際經(jīng)濟(jì)技術(shù)合作促進(jìn)會”

提出，由青島國林半導(dǎo)體技術(shù)有限公司牽頭，協(xié)同產(chǎn)業(yè)鏈上下游相關(guān)領(lǐng)域頭部企業(yè)共同制定，本次受邀參加的其余企業(yè)如下：北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、華海清科股份有限公司、拓荊創(chuàng)益（沈陽）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司、北京電控集成電路制造有限公司、上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司、北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心、盛吉盛半導(dǎo)體科技（無錫）有限公司、盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、杭州星源馳半導(dǎo)體有限公司、江蘇亞電科技股份有限公司、上海至純系統(tǒng)集成有限公司、浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司、上海正帆科技股份有限公司、天津奧爾斯曼新能源科技有限公司、山東志偉環(huán)?？萍加邢薰竟灿?jì)16家單位，涵蓋臭氧、薄膜、濕法清洗、CMP等裝備以及終端fab廠、PFA關(guān)鍵零部件等眾多知名企業(yè)。

會議當(dāng)天上午10:00時(shí)，部分嘉賓早早來到了國林半導(dǎo)體公司，提前深入企業(yè)車間了解臭氧發(fā)生器制造全過程，充分進(jìn)行了技術(shù)研發(fā)、制造以及應(yīng)用交流。13:00-14:00參會嘉賓陸續(xù)簽到，大家相互認(rèn)識并熱烈交流互動。

會議由青島國林半導(dǎo)體技術(shù)有限公司總經(jīng)理徐洪魁主持，由中國國際經(jīng)濟(jì)技術(shù)合作促進(jìn)會國標(biāo)委員會主任冀云致歡迎辭。二位表示，標(biāo)準(zhǔn)是行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要技術(shù)基礎(chǔ)，作為深耕臭氧技術(shù)多年的企業(yè)，在協(xié)會的大力支持下，國林半導(dǎo)體有責(zé)任，也有能力攜手各方共同構(gòu)建一個(gè)技術(shù)領(lǐng)先、安全可靠、適應(yīng)產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展需求的標(biāo)準(zhǔn)體系。此次標(biāo)準(zhǔn)的制定，將聚焦半導(dǎo)體級臭氧發(fā)生器（涵蓋面板顯示）的性能、安全、能效、環(huán)保及智能化等關(guān)鍵指標(biāo)，力求體現(xiàn)行業(yè)當(dāng)下滿足需求的技術(shù)水平和未來發(fā)展方向。

受國林半導(dǎo)體主辦方的特別邀請，中國國際經(jīng)濟(jì)促進(jìn)會標(biāo)準(zhǔn)化工作委員會副主任晨萌進(jìn)行了“國促會介紹及團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)發(fā)展歷程”主題分享；歡芯鼓伍創(chuàng)始人羅仕洲博士進(jìn)行“國內(nèi)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)分析及液態(tài)工藝技術(shù)現(xiàn)況與未來”主題分享，青島國林半導(dǎo)體技術(shù)有限公司總經(jīng)理徐洪魁進(jìn)行“國產(chǎn)化臭氧技術(shù)發(fā)展”主題分享， 三位的報(bào)告分別從標(biāo)準(zhǔn)的由來、產(chǎn)業(yè)的發(fā)展以及臭氧技術(shù)的現(xiàn)狀進(jìn)行深入淺出的精彩分享，使參會嘉賓更能充分地理解標(biāo)準(zhǔn)啟動暨評審會的追根溯源，為標(biāo)準(zhǔn)的充分評審夯實(shí)專業(yè)基礎(chǔ)。

會議期間，參編標(biāo)準(zhǔn)上午與會嘉賓、專家等聽取徐洪魁總經(jīng)理的標(biāo)準(zhǔn)起草匯報(bào)，對提交的標(biāo)準(zhǔn)文件進(jìn)行了詳細(xì)的審查及各種方式討論，參編各單位一致認(rèn)可標(biāo)準(zhǔn)文件的總體編寫質(zhì)量，部分條款細(xì)節(jié)也進(jìn)行了推敲溝通。此次標(biāo)準(zhǔn)的評審，標(biāo)志著半導(dǎo)體級臭氧發(fā)生器行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化工作邁入了嶄新的階段，國林半導(dǎo)體將積極協(xié)同各參與單位，加速推進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的后續(xù)制定、報(bào)批與推廣實(shí)施工作，為我國半導(dǎo)體臭氧配套設(shè)備的國產(chǎn)化研制與應(yīng)用注入新動能。

標(biāo)準(zhǔn)文件評審后，應(yīng)會前部分嘉賓的參觀要求，國林半導(dǎo)體組織嘉賓進(jìn)行國林半導(dǎo)體公司潔凈車間制造場景的參觀，分別參觀“千級臭氧氣體發(fā)生器生產(chǎn)與測試車間”“萬/千級功能水（含臭氧水）生產(chǎn)與測試車間”，由總經(jīng)理徐洪魁親自為嘉賓講解臭氧發(fā)生器以及關(guān)鍵零部件制造的全過程，講述公司生產(chǎn)潔凈管控工作的模式與產(chǎn)能規(guī)劃，與會嘉賓在了解中不斷詢問著各類問題，大家在一片歡笑聲中對于未來國產(chǎn)化的發(fā)展也充滿了更多的期待，參觀后大家集體合影留念。

結(jié)束語：

本次標(biāo)準(zhǔn)大會的成功舉辦，不僅開啟了半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)化臭氧發(fā)生器技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的新篇章，還為半導(dǎo)體（含面板顯示）領(lǐng)域的科研、工藝、裝備等人員提供一個(gè)充分的臭氧技術(shù)交流平臺，進(jìn)一步促進(jìn)了行業(yè)內(nèi)深入融合與協(xié)同效應(yīng)，為應(yīng)對當(dāng)前國際競爭背景下國產(chǎn)化臭氧技術(shù)的應(yīng)用與挑戰(zhàn)提供了重要的實(shí)踐基礎(chǔ)。相信在行業(yè)同仁的共同努力與支持下，國產(chǎn)化臭氧技術(shù)的發(fā)展未來可期！